Peralatan Deposisi Tungku CVD untuk Persiapan Bahan Semikonduktor Film Nipis

Rincian produk

Nama merek: Jingtan

Sertifikasi: CE

Syarat Pembayaran & Pengiriman

Kuantitas min Order: 1 set

Harga: USD12,000-100,000/SET

Kemasan rincian: Kemasan Kasus Kayu

Waktu pengiriman: 60 hari

Syarat-syarat pembayaran: L/c/t/t

Menyediakan kemampuan: 30 Potongan/potongan per Kuartal

Dapatkan Harga Terbaik

Hubungi Sekarang

Spesifikasi

Deskripsi

Spesifikasi

Menyoroti: 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              Peralatan Deposisi Untuk Bahan Semikonduktor, Tungku CVD untuk bahan semikonduktor
                                                  

Tempat Asal:	Hunan, Cina	Jenis:	Tungku Induksi
Penggunaan:	tungku pengendapan	Inspeksi video keluar:	Disediakan
Laporan pengujian mesin:	Disediakan	Komponen Inti:	PLC
brand name:	Jingtan	Tegangan:	380
Berat (t):	2 T	Daya (kW):	220
Poin Penjualan Utama:	Harga bersaing	Suhu Desain (℃):	1250-2200
Suhu Memburuk:	900-1200℃	Tingkat kenaikan tekanan (Pa/h):	0,67Pa/jam(150Pa/24jam)
Metode Pemanasan:	resistensi/induksi	Suasana Kerja:	vakum/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Jenis Tungku:	Persegi/bulatVertikal/Horizontal	Mode pendinginan tungku:	pendingin air cangkang tungku
Instrumen inframerah:	kolorimetri tunggal/ganda	Keseragaman Suhu:	±5
Batasi Derajat Vakum (Pa):	1-100	Jenis pemasaran:	Produk biasa
Garansi komponen inti:	1 tahun	Industri yang berlaku:	Lainnya, semikonduktor

Tempat Asal:	Hunan, Cina
Jenis:	Tungku Induksi
Penggunaan:	tungku pengendapan
Inspeksi video keluar:	Disediakan
Laporan pengujian mesin:	Disediakan
Komponen Inti:	PLC
brand name:	Jingtan
Tegangan:	380
Berat (t):	2 T
Daya (kW):	220
Poin Penjualan Utama:	Harga bersaing
Suhu Desain (℃):	1250-2200
Suhu Memburuk:	900-1200℃
Tingkat kenaikan tekanan (Pa/h):	0,67Pa/jam(150Pa/24jam)
Metode Pemanasan:	resistensi/induksi
Suasana Kerja:	vakum/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Jenis Tungku:	Persegi/bulatVertikal/Horizontal
Mode pendinginan tungku:	pendingin air cangkang tungku
Instrumen inframerah:	kolorimetri tunggal/ganda
Keseragaman Suhu:	±5
Batasi Derajat Vakum (Pa):	1-100
Jenis pemasaran:	Produk biasa
Garansi komponen inti:	1 tahun
Industri yang berlaku:	Lainnya, semikonduktor

Deskripsi

Peralatan Deposisi Tungku CVD untuk Persiapan Bahan Semikonduktor Film Nipis

Spesifikasi:

Tungku pengendapan vakum:

Utamanya digunakan untuk persiapan bahan komposit karbon-karbon, dan tungku deposisi terutama digunakan untuk persiapan lapisan karbon pirolis pada permukaan grafit,Perangkat semikonduktor dan bahan pembersih tahan panas.

Parameter / Nomor Model	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	JT-0812-C	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
Ukuran Zona Kerja φ × H ((mm)	300×500	500×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
Suhu Tertinggi (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
Keseragaman suhu ((°C)	± 5	± 5	± 5 / ± 7.5	±7,5/±10	±7,5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
Batas Vacuum derajat ((Pa)	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
Batas Vacuum derajat ((Pa)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Metode pemanasan	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi	Resistensi/induksi

Suhu desain	1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
Suhu umum	900~1200°C
Tingkat vakum	< 50Pa
Tingkat kenaikan tekanan	6.67pA / h ((atau 150Pa / 24h) dalam keadaan dingin di tungku kosong
Mode pemanasan	pemanasan resistansi grafit atau pemanasan induksi, kontrol suhu independen, seragam suhu yang baik
Medium atmosfer	vakum /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

Modus kontrol gas	kontrol aliran meter massa, jalur gas multi-saluran, aliran lapangan seragam, tidak ada sudut mati deposisi, efek deposisi yang baik;Sistem pengolahan knalpot multi-tahap dan efisien, ramah lingkungan,mudah dibersihkan
Jenis tungku	struktur persegi, bulat, vertikal atau horizontal (desain non-standar), ruang deposisi tertutup sepenuhnya, efek penyegelan yang baik, kemampuan anti polusi yang kuat;
Mode pendinginan tungku	sistem pendinginan cepat sirkulasi eksternal dapat dipilih, waktu pendinginan pendek, produksi tinggi efisiensi;

Bentuk struktur	Pengeluaran horisontal - sisi, vertikal - pengeluaran atas / bawah
Mode penguncian	manual/otomatis
Bahan kerang	Baja tahan karat bagian dalam/semua baja tahan karat
Bahan isolasi	Karbon felt/grafit felt/karbon fiber cured felt
Instrumen inframerah	Colorimetric tunggal / colorimetric ganda
Sumber daya listrik	KGPS/IGBT ((hanya cocok untuk pemanasan frekuensi menengah) Parameter produk: